硅酸锂加热

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简述信息一览：

• 1、半导体工艺废气电加热解决方案和其技术特点

半导体工艺废气电加热解决方案和其技术特点

1、半导体酸废气处理通常***用碱液体喷淋法，又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除污染物，而达到大气排放标准，故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍***用的主要处理方法。

2、掺杂工艺：热扩散与离子注入工艺产生的主要废气为含磷烷、砷烷的酸性废气。清洗工艺：酸、碱与有机溶剂的使用产生废气，清洗液种类根据去除对象的不同而变化。半导体废气处理技术与系统：废气通过分类密闭收集，分为酸性、碱性、有机、一般尾气等。处理系统包括本地（POU）与中央处理系统。

3、热氧化工艺：产生酸性废气，主要来源于未反应的含卤素氧化剂。化学气相沉积：产生的废气种类各异，包括未反应原料气和生成的酸性气体，如SiHSiClSiH2ClPHHF、HCl、NH3等。物理气相沉积：以惰性气体为介质，主要产生固废，但也可能产生少量废气。

4、优点：适合于温度低、中高浓度的废气，能够有选择性地吸收硫化氢等废气，工艺流程简单，且不需外加蒸汽和外加其他热源。

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